表面粗糙度測量機
·準確性****
儀器選用高穩定性雙光路激光干涉式傳感器,實現了世界*高分辨率:0.3nm
·設計新穎
新的圓柱形設計,可使儀器檢測更大的工件
·速度快,振動小
在驅動器上采用線性馬達技術,使得測量的速度快,振動小。高速測量(*大200mm/s),實現高生產率
測量范圍(mm) |
Z軸(縱向) |
13mm/50mm測臂、臂26mm/100mm測臂 |
X軸(橫向) |
200mm |
|
精度 |
Z軸指示精度(縱向) |
±(0.2+2| H |/100) mm (±0.206μm/ H±6mm) |
測量分辨率 |
0.31nm/50mm測臂 |
|
X軸指示精度(橫向) |
±0.2+L/1000μm ?。ā?.4μm/L200mm) |
|
測量分辨率 |
0.54nm |
|
直線度精度 |
0.05+3L/10000μm?。?.11μm/L200mm) |
|
測量方式 |
Z軸(縱向)高穩定倍光路型激光干涉計 |
|
X軸(橫向)反光分析光尺 |
|
|
粗糙度處理功能 |
JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO1997、ISO1984、DIN1990、ASME1995、符合CNOMO |
|
評價曲線 |
剖面曲線、粗糙度曲線、濾波紋度曲線、濾波中心線波紋度曲線、滾動圓波紋度曲線、滾動圓中心線 |
|
傾斜補償 |
直線補償、R面補償、前半補償、后半補償、兩端補償、花鍵曲線補償(直線、R面、兩端補償可 |
|
CUTOFF值 |
0.008、0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、50mm(9級)任意(0.001-50mm) |
|
縱倍率 |
50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K、500K、1000K、2000K倍 |
|
橫倍率 |
0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍 |
|
輪廓度處理功能 |
點、直線、部分圓、橢圓、*在點、*小點、距離、坐標著、極坐標差、直交/極坐標差顯示、交叉 |
|
IGES/DXF轉換 |
基準設定原點設定、X軸設定、平行移動、回轉移動 |
|
*小測量間距 |
0.0005~1mm |
|
*大測量點數 |
*大150,000點 |
|
縱倍率 |
0.01~10,000,000倍(任意、自動) |
|
橫倍率 |
0.01~10,000,000倍(任意、自動) |
|
驅動速度 |
上下移動速度(Z軸) |
0~200mm/s |
測量速度(X軸) |
0.03~3mm/s(粗糙度測量時) 0.02~20mm/s(輪廓度測量時) |
|
移動速度(X軸) |
0.02~60mm/s |
|
上下驅動范圍 |
500mm |
|
驅動部交換式 |
0.75mN、2mmR半徑、金剛石
|
|
驅動部交換式 |
0.75mN、2mmR半徑、金剛石
|